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纳电子器件制备的单根碳纳米管精确装配与电连接研究
  • ISSN号:1000-6281
  • 期刊名称:《电子显微学报》
  • 时间:0
  • 分类:TH742.9[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械] TP205[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室,辽宁沈阳110016, [2]中国科学院研究生院,北京100039
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(No.60575060,No.60575050),辽宁省优秀青年科研人才培养基金项目(No.2005220025).
中文摘要:

目前,利用单根碳纳米管进行纳电子器件的研制成为纳电子学界研究的前沿与热点,但在纳电子器件研制过程中,如何实现单根碳纳米管与微电极的精确装配与电连接成为关键技术难题之一。为探索实现此关键技术的新方法,本文尝试将介电电泳与具有实时力,视觉反馈的原子力显微镜操作方法相结合,从而结合粗、精两级操作方式,来实现单根碳纳米管的精确装配与电连接。单根多壁碳纳米管的精确装配与电特性测试实验验证了该方法的有效性,从而为装配研制基于单根纳米管,线的纳电子器件提供了一种新颖可行的方法。

英文摘要:

Nowadays, nanoeletronic device based on single carbon nanotube (CNT) attracts much attention and many research works have been done on its fabrication, one of the key technical problems is how to realize accurate assembly and electrical contact between single CNT and microelectrode. An AC dieletrophoresis and AFM based nanomanipulation technology with real-time force/visual feedback combining coarse and accurate positioning was introduced. The assembly and electric properties measurement of single MWCNT verified the effectiveness of this method, and thus provides a new method for assembling and fabricating nanoeletronie device based on single nanotube, nanowire, etc.

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期刊信息
  • 《电子显微学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国物理学会
  • 主编:张 泽
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  • 邮编:100190
  • 邮箱:dzxwxb@blem.ac.cn
  • 电话:010-82671519 62565522/3301
  • 国际标准刊号:ISSN:1000-6281
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2295/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 曾获《中国科技论文统计源期刊(中国科技核心期刊)》,《中国科学引文数据库(核心库)》来源期刊,中国自然科学核心期刊(无线电电子学、电信技术类...
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:6569