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Fabrication and characterization of Al nanomechanical resonators for coupling to nanoelectronic devi
  • ISSN号:0947-8396
  • 期刊名称:Applied Physics A-Materials Science & Processi
  • 时间:2012.5.16
  • 页码:7-11
  • 相关项目:超导纳米机械振子谐振与耗散特性的研究
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