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Preparation of stoichiometric TiNx films by laser CVD with metalorganic precursor
  • 期刊名称：Advanced Material Research
  • 时间：0
  • 页码：318-321
  • 相关项目：组合法研究影响PZT薄膜结构及其热释电性能的因素
作者： Yangsheng Gong|Wei Zhou|Rong Tu|Takashi Goto|
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组合法研究影响PZT薄膜结构及其热释电性能的因素
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