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XRD法计算4H-SiC外延单晶中的位错密度
  • 期刊名称:光谱学与光谱分析
  • 时间:0
  • 页码:1995-1997
  • 语言:中文
  • 相关项目:碳化硅金属-半导体双极型晶体管的研究
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