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碳离子注入对硅片的微摩擦学行为
  • 期刊名称：材料研究学报, 21(4): 383-388, 2007.
  • 时间：0
  • 相关项目：离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
作者： 张德坤，葛世荣
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