光学微纳阵列是指一定数量微纳尺度的透镜或棱镜的排列组合,因其特殊的几何特征,而具有多种光学功能,在红外、可见光、紫外(UV)/极紫外(EUV)乃至X射线波段对光波的物理特性进行调控和利用,实现传统光学元器件难以完成的任意波面变换的光学功能,是在现代光学工程中重要的光学元器件。