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The research on a novel levitation stage using ultrasonic and aerodynamic driving method
  • ISSN号:1392-8716
  • 期刊名称:Journal of Vibroengineering
  • 时间:2013.3.3
  • 页码:488-495
  • 相关项目:叠加超声波对ICF靶丸类微球的空间非接触支撑定位及多自由度驱动机理与控制方法
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