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Large area mold fabrication for the nanoimprint lithography using electron beam lithography
  • ISSN号：1674-7321
  • 期刊名称：SCIENCE CHINA-TECHNOLOGICAL SCIENCES
  • 时间：0
  • 页码：248-252
  • 语言：中文
  • 相关项目：仿昆虫偏振光导航定位原理的微纳传感器关键理论技术研究
作者： Meng, FanTao|Han, ZhiTao|Chu, JinKui|Guo, Qing|
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期刊论文 21 专利 7
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