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射频分子束外延方法生长氮化铝薄膜材料中缺陷的研究
  • 期刊名称:《真空技术学报》
  • 时间:2012
  • 页码:964-968
  • 相关项目:面向固态量子信息器件的可控半导体量子点制备方法
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