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平面螺旋电感耦合微波等离子体源
  • 期刊名称：电波科学学 报,22(3):400-404，2007年6月。(EI收录)
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  • 相关项目：基于微系统的小功率微波等离子体源的研究
作者： 廖斌*、曹焕丽，朱守正
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