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晶圆制造系统投料策略综述
  • ISSN号:1007-5429
  • 期刊名称:《工业工程与管理》
  • 时间:0
  • 分类:F270[经济管理—企业管理;经济管理—国民经济]
  • 作者机构:[1]上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240
  • 相关基金:国家自然科学基金资助项目(50475027); 国家863现代集成技术专题项目(2006AA04Z128); 国家科技02重大专项(2011ZX02501-005)
中文摘要:

首先论述了投料策略对于半导体晶圆制造系统性能提升的重要性;随后将投料策略划分为常规投料策略、分产品分层控制投料策略、投料派工综合策略三类,并从这三个方面分别对投料策略进行了细致的归纳与具体的分析。最后,指出了投料策略未来的发展方向和存在的问题。

英文摘要:

This paper first states the important roles that release policies play in the process of improving the performance of semiconductor wafer fabrication system.Then,the release policies are divided into three categories,namely,normal release policies,release policies based on product/layerwise-control,and release-dispatch policies.And detail descriptions and analysis about these three categories are presented respectively.Finally,remaining problems and the future research focus of release policies are pointed out.

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期刊信息
  • 《工业工程与管理》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中华人民共和国教育部
  • 主办单位:上海交通大学
  • 主编:饶芳权
  • 地址:上海市华山路1954号上海交通大学交三楼450室
  • 邮编:200030
  • 邮箱:qpxiong@sjtu.edu.cn
  • 电话:021-62933226
  • 国际标准刊号:ISSN:1007-5429
  • 国内统一刊号:ISSN:31-1738/T
  • 邮发代号:4-585
  • 获奖情况:
  • 中国科技论文统计源期刊,1999年教育部优秀科技期刊,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版)
  • 被引量:11118