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红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器
  • ISSN号：1005-0086
  • 期刊名称：《光电子．激光》
  • 时间：0
  • 分类：TN248.4[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目(60777028,60723002,60838003);; 国家重点基础研究计划资助项目(2006CB302804)
作者： 李敬[1], 黄永箴[1], 肖金龙[1], 杜云[1], 樊中朝[1]
关键词： 光学微腔, 半导体激光器, GAINP/ALGAINP, 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀, optical microcavity, semiconductor lasers, GaInP/AlGaInP, inductively coupled plasma（ICP） etching
中文摘要：

利用普通光刻和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制作了红光GaInP/AlGaInP正方形微腔激光器,光功率电流曲线表明,器件实现了200 K的低温激射。对边长为10μm、输出波导长为30μm的正方形微腔激光器,室温测量得到的纵模模式间距为1.3 nm,所对应的是由输出波导和正方形腔组成的F-P腔的F-P模式。采用二维时域有限差分法(FDTD),模拟研究了侧壁粗糙对正方形腔模式品质因子的影响。

英文摘要：

Red GaInP/AlGaInP microsquare lasers with output waveguide are fabricated by standard photolithography and inductively coupled plasma(ICP) etching techniques.The square microcavity lasers are operated at low temperature.For a 10-μm-side square microlaser with a 30-μm-long and 1.5-μm-wide output waveguide,the mode interval of 1.3 nm is observed in the amplified spontaneous emission spectra at room temperature,which corresponds to the longitudinal mode interval of the Fabry-Pérot(F-P) cavity that consists of ...

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期刊信息
  • 《光电子．激光》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:天津市教育委员会
  • 主办单位:天津理工大学 中国光学学会
  • 主编：巴恩旭
  • 地址：天津市西青区宾水西道391号
  • 邮编：300384
  • 邮箱：baenxu@263.net baenxu@aliyun.com
  • 电话：022-60214470
  • 国际标准刊号：ISSN：1005-0086
  • 国内统一刊号：ISSN：12-1182/O4
  • 邮发代号:6-123
  • 获奖情况:
  • 中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:16551