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近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法
  • ISSN号:0254-3087
  • 期刊名称:仪器仪表学报
  • 时间:2014
  • 页码:-
  • 分类:TB938.3[机械工程—测试计量技术及仪器;一般工业技术—计量学]
  • 作者机构:[1]中国计量科学研究院,北京100029, [2]中国计量学院,浙江杭州310018, [3]贵州省计量测试院,贵州贵阳550003
  • 相关基金:国家自然科学基金(51105347,51475440);质检公益性行业科研专项基金(AHY0711)
  • 相关项目:基于静力悬浮原理的单晶硅材料密度精密测量方法研究
中文摘要:

为克服静力称重法受蒸发量影响大的不足,同时适应在线测量的需要,基于Lambert-Beer定律,研究了520nm和730nm双波长超微液体容量光度吸收测量法,通过稀溶液浓度与吸光度之间的线性关系可以计算出待测超微量液体容积。设计了双波长参比光度吸收法的测量系统,采用与静力称重测量系统比对试验的方式对这种方法进行了验证,1μL和5μL微量液体试验数据表明:双波长参比光度吸收法和静力称重法测量结果具有良好的一致性,均符合ISO8655的技术要求。与静力称重法方法相比,双波长参比光度吸收法对测量环境要求低,易于实现在线测量,而且可以有效减少液体蒸发对测量结果的影响。

英文摘要:

In order to overcome the shortcoming of significant influence of evaporation capacity on hydro-weighting method, a dual-wavelength photometric method based on Lambert-Beer law at 520 nm and 730 nm was introduced. Micro liquid volume to be measured can be calculated through the linear relation between dilute solution concentration and absorbance. Comparing with the gravimetric method, experimental systems for dual-wavelength photometric method is designed. The test data at 1 μL and 5 μL indicates that dual-wavelength photometric method is in good conformance with gravimetric method, and meet the technical requirement of ISO 8655, but the measured value of dual-wavelength photometric method is a little bigger, dual-wavelength photometric method is able to provide a good solution for micro liquid volume measurement. By comparing with gravimetric method, dual-wavelength photometric method is low in requirement of measurement environment, and easy to realize the online calibration and capable of effectively reducing the influence of liquid evaporation.

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期刊信息
  • 《仪器仪表学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国仪器仪表学会
  • 主编:张钟华
  • 地址:北京东城区北河沿大街79号
  • 邮编:100009
  • 邮箱:yqyb@vip.163.com
  • 电话:010-84050563
  • 国际标准刊号:ISSN:0254-3087
  • 国内统一刊号:ISSN:11-2179/TH
  • 邮发代号:2-369
  • 获奖情况:
  • 1983年评为机械部科技进步三等奖,1997年评为中国科协优秀科技期刊三等奖
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:42481