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Three-Degree-of-Freedom Ultrasonic Motor Using a 5-mm-Diameter Piezoelectric Ceramic Tube
  • ISSN号:0885-3010
  • 期刊名称:IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics,
  • 时间:2013.7.7
  • 页码:1446-1452
  • 相关项目:驱动微/纳米颗粒旋转的基板型超声电机的研究
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