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ECR-MOPECVD技术制备GaN薄膜研究
  • 期刊名称：中国科技论文在线（http://www.paper.edu.cn）
  • 时间：0
  • 相关项目：蓝光功能薄膜材料的低温等离子体制备和研究
作者： 李赟，陈俊芳，符斯列 等。
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