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Nanofabrication on monocrystalline silicon through friction-induced selective etching of Si3N4 mask
  • ISSN号：1931-7573
  • 期刊名称：Nanoscale Research Letters
  • 时间：2014.5.16
  • 页码：-
  • 相关项目：低损伤摩擦诱导纳米加工的原理及应用研究
作者： Guo, Jian|Yu, Bingjun|Wang, Xiaodong|Qian, Linmao|
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