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Relatively low temperature synthesis of hexagonal tungsten carbide films by N doping and its effect
  • ISSN号:0734-2101
  • 期刊名称:Journal of Vacuum Science & Technology A
  • 时间:0
  • 页码:167-173
  • 语言:英文
  • 相关项目:碳素材料与超硬材料
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