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有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响
  • 期刊名称：功能材料
  • 时间：0
  • 页码：427-428+435
  • 语言：中文
  • 分类：TP212.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构：[1]电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（60736005）;博士点基金资助项目（20070614047）
  • 相关项目：声表面波有毒气体传感器阵列理论与技术
作者： 杜晓松|谢光忠|应智花|杨邦朝|蒋亚东|王涛|胡佳|袁凯|
关键词： 乐甫波传感器, PMMA波导, 插损, 质量灵敏度, magnetron sputtering, SiNO film, wear resistance, anticorrosion
中文摘要：

研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器，研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系。采用低浓度、低粘度的前驱溶液，多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜，降低了器件的插损，实现了2．18μm的“有效厚度”，器件的质量灵敏度达705cm^2／g，与前人相比提高了1倍。

英文摘要：

The SiNO film has been deposited by unbalance magnetron sputttering（UP, MS） on the substrate of Ti6A14V alloy at different N2 gas flow rate. The wear-resistance and anticorrosion properties were studied. The results show that the samples coating with SiNO film have perfect wear-resistance and anticorrosion properties. It is suggested that the N atom content and the compound exist statement significantly affects the properties of the SiNO films.

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