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自支撑超快电子衍射薄膜制备方法的研究
  • ISSN号：1671-4806
  • 期刊名称：《无锡商业职业技术学院学报》
  • 分类：TB43[一般工业技术]
  • 作者机构：[1]无锡商业职业技术学院电子工程系, [2]江苏省无线传感系统应用工程技术研发中心,江苏无锡214153, [3]中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西,西安710068
  • 相关基金：国家自然科学基金青年基金支持课题（60901036）;江苏省青蓝工程资助（苏教师[2008]30号）
作者： 吴建军[1,2], 田进寿[3], 刘虎林[3]
关键词： 超快电子衍射, 薄膜, 自支撑, 溅射
中文摘要：

具有自支撑能力的、具备晶格结构的超薄薄膜制作技术对超快电子衍射实验至关重要,薄膜的质量直接影响到后续实验的开展。文章重点介绍了超快电子衍射系统对薄膜样品的特殊要求,以及利用磁控溅射方法制作22.9nm薄膜的工艺过程。

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期刊信息
  • 《无锡商业职业技术学院学报》
  • 主管单位:江苏省教育厅
  • 主办单位:无锡商业职业技术学院
  • 主编：杨建新
  • 地址：江苏无锡市钱胡路809号
  • 邮编：214153
  • 邮箱：
  • 电话：0510-81020715
  • 国际标准刊号：ISSN：1671-4806
  • 国内统一刊号：ISSN：32-1644/Z
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  • 获奖情况:
  • 首届《中国学术期刊（光盘版）检索与数据规范》执...
  • 国内外数据库收录:
  • 中国国家哲学社会科学学术期刊数据库
  • 被引量:3931