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CVD制备MB_2（M=Ti,Zr,Hf）研究进展
  • ISSN号：1000-3738
  • 期刊名称：《机械工程材料》
  • 时间：0
  • 分类：TQ314.253[化学工程—高聚物工业]
  • 作者机构：[1]同济大学材料科学与工程学院,上海200092
  • 相关基金：基金项目：国家“九七三”重点基础研究发展规划资助项目（2007CB714705）;国家自然科学基金资助项目（50771073）;新世纪优秀人才支持计划资助项目（NCET-05-0388）.
作者： 张涛[1], 何国球[1], 蔡仁涛[1], 赵小跟[1]
关键词： 化学气相淀积(CVD), 硼化钛(TiB2), 硼化锆(ZrB2), 硼化铪(HfB2)
中文摘要：

MB2（M=Ti,Zr,Hf）是ⅣB族过渡金属的硼化物,化学气相淀积（CVD）是制备MB2类薄膜材料和保护涂层的最有效技术之一。对MB2类材料CVD制备的热力学进行了简要分析。阐述了反应前驱体的选择和应用。对近年来MB2类材料的CVD合成制备的最新研究报道进行了整理和总结,对MB2类材料的CVD制备发展进程进行了概括。从CVD过程的设备工艺到产物的表征,从显微结构的定性研究到晶格常数匹配的定量分析,均进行了简要的阐述。最后,对CVD工艺制备MB2类材料的发展和应用前景进行了展望。

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期刊信息
  • 《机械工程材料》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:上海科学院
  • 主办单位:上海材料研究所
  • 主编：杨武
  • 地址：上海市邯郸路99号
  • 邮编：200437
  • 邮箱：mem@mat-test.com
  • 电话：021-65556775-368
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-3738
  • 国内统一刊号：ISSN：31-1336/TB
  • 邮发代号:4-221
  • 获奖情况:
  • 全国中文核心期刊,《中国学术期刊（光盘版）检索与评价数据库规范》...
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:13383