位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能
  • ISSN号：1000-7032
  • 期刊名称：发光学报
  • 时间：2015.12.15
  • 页码：1427-1433
  • 分类：O484.4[理学—固体物理;理学—物理]
  • 作者机构：辽宁科技大学材料与冶金学院
  • 相关基金：国家自然科学基金(51172101,51372109);辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LR2012009)资助项目
  • 相关项目：磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
作者： 刘思宁|周艳文|吴川|吴法宇|
关键词： 多层透明导电薄膜, 金属基透明导电薄膜, 粉末靶, 射频磁控溅射
中文摘要：

室温下,采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌(AZO/Ag/AZO)透明导电薄膜,研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明:3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%,550 nm处的最高透过率达到了88%,方块电阻小于5Ω/□。Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素,AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。

同期刊论文项目
石墨烯基超薄透明导电氧化物薄膜结构及光电行为
期刊论文 11
磁控溅射等离子体行为对TCO薄膜结构性能影响机理
期刊论文 25
同项目期刊论文
真空法制备CIGS薄膜的研究综述
Cu2O透明导电薄膜的制备技术及应用
高温处理对螺旋炭纤维微观拓扑结构的影响
射频磁控溅射制备CdxSn1-xO薄膜性能
CuIn(Al)Se2薄膜态阳能电池
无结晶体管的研究现状及展望
The characteristics of CdxSn1 − xO films prepared by RF magnetron sputtering from powder t
不同驱动电源下磁溅射等离子体行为
磁控溅射在PI基体上制备氧化锌薄膜
Fabrication and characterization of the AZO/Ag/AZOtransparent conductive films prepared by RF magnet
真空热蒸发镀CIAS薄膜
粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性
磁控溅射中电磁场分布二维模拟
用粉末靶在玻璃和PI基体上制备AZO/Ag/AZO薄膜
二次电子对低气压射频氩气辉光放电特征影响的数值模拟
粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO2薄膜结构及光电性能
Multi-component transparent conductive oxide films on polyimide substrate prepared by radio frenquen
稀土元素Y和Ce对定向凝固镍基高温合金高温氧化行为的影响
用粉末靶在玻璃和PI衬底上制备AZO/Ag/AZO薄膜
电磁场模拟磁控溅射装置中磁场的空间分布
粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO2薄膜的结构及光学性能
无结晶体管的研究现状及展望
真空热蒸发镀CIAS薄膜
粉末靶磁控溅射制备AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的特性
用粉末靶在玻璃和PI衬底上制备AZO/Ag/AZO薄膜
电磁场模拟磁控溅射装置中磁场的空间分布
粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO2薄膜的结构及光学性能
脉冲偏压对低温氮化不锈钢表面结构及摩擦学性能的影响
Characteristics of the Structure and Properties of ZnSnO3 Films by Varying the Magnetron Sputtering Parameters
粉末靶射频磁控溅射非晶Al2O3薄膜的制备与性能研究
磁控溅射中等离子体电离机制的数值解析
期刊信息
  • 《发光学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国物理学会发光分会 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 主编：申德振
  • 地址：长春市东南湖大路3888号
  • 邮编：130033
  • 邮箱：fgxbt@126.com
  • 电话：0431-86176862
  • 国际标准刊号：ISSN：1000-7032
  • 国内统一刊号：ISSN：22-1116/O4
  • 邮发代号:12-312
  • 获奖情况:
  • 物理学类核心期刊,2000年获中国科学院优秀期刊二等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7320