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中文摘要：
在室温大气环境中，原子力显微镜（AFM）的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度，导致扫描图像的失真，从而增大基于AFM图像的二维测量的误差。针对这种失真，在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法，通过建立热漂移的线性模型，校正扫描的AFM图像，从而恢复样品的真实形貌，有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性。
英文摘要：
Under ambient conditions, thermal drift would limit positioning precision of an AFM tip, resulting in distortion of the scanned image. To remove this kind of imaging error, we developed a thermal drift compensation method based on image registration techniques. The image distortion can be efficiently removed, and the sample topography can be truly restored.
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