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Effects of Tailed Pulse-Bias on Ion Energy Distributions and Charging Effects on Insulating Substrates
  • ISSN号：1009-0630
  • 期刊名称：《等离子体科学与技术：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：TN44[电子电信—微电子学与固体电子学] O536[理学—等离子体物理;理学—物理]
  • 作者机构：[1]School of Physics and Optoelectronic Technology, Dalian University of Technology,Dalian 116024, China
  • 相关基金：supported by National Natural Science Foundation of China （No. 11375040） and the Important National Science ＆ Technology Specific Project of China （No. 2011ZX02403-001）
作者： LIU Zeng DAI Zhongling HE Caiqiang WANG Younian[1]
关键词： 离子能量分布, 脉冲偏压, 充电效应, 绝缘衬底, 智能电子设备, 流体模型, 补偿方法, 充电效果, sheath, IEDs, tailed pulse-bias waveform, hybrid model, charging effect
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期刊信息
  • 《等离子体科学与技术：英文版》
  • 主管单位:中国科学院 中国科协
  • 主办单位:中国科学院等离子体物理研究所 中国力学学会
  • 主编：万元熙、谢纪康
  • 地址：合肥市1126信箱
  • 邮编：230031
  • 邮箱：pst@ipp.ac.cn
  • 电话：0551-5591617 5591388
  • 国际标准刊号：ISSN：1009-0630
  • 国内统一刊号：ISSN：34-1187/TL
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  • 国内外数据库收录:
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