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微波ECR等离子体增强磁控溅射制
  • 期刊名称：物理学报
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 丁万昱，徐军，李艳琴，朴勇，高
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期刊论文 339 会议论文 107 著作 6
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