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Design, fabrication and application of an SOI-based resonant electric field microsensor with coplana
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：2013
  • 页码：-
  • 相关项目：基于MEMS的非接触式交直流电网电压传感器关键技术研究
作者： Yang Pengfei|Peng Chunrong|Fang Dongming|Wen Xiaolong|Xia Shanhong|
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