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Self-formation of single-crystal metal particles driven by inhomogeneous stress in thin films
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:5188-5193
  • 相关项目:应变硅/硅锗微细特征单元结构失稳及应变弛豫研究
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