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温梯法生长大尺寸蓝宝石晶体的脱碳去色退火研究
  • ISSN号:1674-4926
  • 期刊名称:《半导体学报:英文版》
  • 时间:0
  • 分类:TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800, [2]美国加州理工学院,CA91125,美国
  • 相关基金:国家杰出青年基金(批准号:60425516)和美国国家自然科学基金(批准号:PHY-9210038)资助项目
中文摘要:

温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)生长的Al2O3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(Ф110×80mm^3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即“两步法”退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.

英文摘要:

A crystalline sapphire (Al2O3) boule (Ф10 × 80mm^3) grown by the temperature gradient technique (TGT) is a bit colored due to carbon volatilization from the graphite heater at high temperatures and the absorption of transitional metal inclusions in the raw material. The sapphire becomes colorless and transparent after decolorization and decarbonization in successive annealings in air and hydrogen at high temperatures. The quality, optical transmissivity,and homogeneity of the sapphire are remarkably improved.

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期刊信息
  • 《半导体学报:英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编:李树深
  • 地址:北京912信箱
  • 邮编:100083
  • 邮箱:cjs@semi.ac.cn
  • 电话:010-82304277
  • 国际标准刊号:ISSN:1674-4926
  • 国内统一刊号:ISSN:11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:7754