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Reactive ion etching of Ti-diffused LiNbO3 slab waveguides
  • ISSN号：0253-4177
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：2013
  • 页码：086001(1-5)-
  • 相关项目：集成光波导傅里叶变换微光谱仪研究
作者： Wu, Jianjie|Li, Jinyang|Yao, Yanqing|Qi, Zhimei|
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期刊论文 23 会议论文 9
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