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Atomic force microscopy deep trench and sidewall imaging with an optical fiber probe
  • ISSN号:1089-7623 (Electronic)0034-6748 (Linking)
  • 期刊名称:Review of Scientific Instruments
  • 时间:2014.12
  • 页码:123704-
  • 相关项目:原子力显微镜非接触式谐振扫描高速成像方法与技术研究
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