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乙醇气敏传感器及敏感度测试
  • 期刊名称:仪器仪表用户,Vol13(3),pp:143-145.
  • 时间:0
  • 分类:TP212[自动化与计算机技术—控制科学与工程;自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 作者机构:[1]华中科技大学机械学院,武汉430074
  • 相关基金:国家自然科学基金项目资助(50405033,50575078)
  • 相关项目:金属微结构的激光冲击处理技术
中文摘要:

二氯化锡具有灵敏度高,工作温度低、电路简单、造价低廉等特点,广泛用作硅基微结构气敏传感器的气敏材料。在二氯化锡薄膜中有意识地掺入适量催化剂,可提高气体敏感度,本文开展乙醇气敏机理的研究、进行气敏薄膜制备和掺杂后敏感度测试。

英文摘要:

The SnO2 has such feature as high sensitivity, low operatio n temperature, simple circuit, and low pdce, so it is wildly used as material of gas sensor. Seemly activator consciously mixed in the SnO2 film, improve the film's gas sensitivity. The paper studies the mechinery of alcohol gas sensitivity, manufactures the gas sensitivity film and test the sensitivity of impure SnO2 film.

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