中文摘要：

和传统的共面波导谐振腔相比,超导共面波导谐振器(SCPWR)具有低损耗、高Q值等优势,可以方便地与超导量子比特相互耦合.通过在谐振器的中心导体中嵌入一系列的dc-SQUID,可以实现谐振器谐振频率的连续可调.我们利用深紫外曝光和电子束蒸发相结合的微加工工艺,制备了分别嵌入1个和3个dc-SQUID的SCPWR,并在极低温(mK)和低噪声环境下,测量了样品的传输特性.实验结果表明,嵌入1个和3个dc-SQUID的实验样品分别实现了60 MHz和187 MHz范围的谐振频率可调,实验数据与理论计算结果具有较好的一致性.