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纳米粒子与单晶硅表面碰撞的反弹
期刊名称:物理学报,2005, 54(6):2832-2837
时间:0
相关项目:先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者:
段芳莉,雒建斌,温诗铸
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