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SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50-100 nm wavelength range in Seya-Nam
  • ISSN号:0146-9592
  • 期刊名称:Optics Letters
  • 时间:0
  • 页码:163-165
  • 相关项目:具有抑制高次谐波特性的高衍射效率同步辐射光栅
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