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Micro electroforming of high-aspect-ratio metallic microstructures by using a movable mask
  • ISSN号:0007-8506
  • 期刊名称:Cirp Annals-Manufacturing Technology
  • 时间:0
  • 页码:227-230
  • 语言:英文
  • 相关项目:微细电加工及其微小装备的基础研究
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