位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源
  • ISSN号：1001-4322
  • 期刊名称：强激光与粒子束
  • 时间：0
  • 页码：388-392
  • 相关项目：放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
作者： 吕鹏|刘春芳|张潮海|赵永蓬|王骐|贾兴|
同期刊论文项目
放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究
期刊论文 7 会议论文 6 专利 6
同项目期刊论文
Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究
Xenon Discharge-Produced Plasma Radiation Source for EUV Lithography
Optical design for EUV Lithography source collector
A new IGBT control and drive circuit for high-power full-bridge inverter for electrostatic precipita
毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
毛细管放电EUVL光源演示装置
期刊信息
  • 《强激光与粒子束》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:四川省科学技术协会
  • 主办单位:四川核学会 中国工程物理研究院 中国核学会
  • 主编：张维岩
  • 地址：四川省绵阳市919-805信箱
  • 邮编：621900
  • 邮箱：hplpb@caep.cn
  • 电话：0816-2485753
  • 国际标准刊号：ISSN：1001-4322
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1311/O4
  • 邮发代号:62-76
  • 获奖情况:
  • 原子能技术类核心期刊,国防科工委优秀期刊,四川省优秀期刊,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:15694