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强流微束斑电子束系统的研究和设计计算
  • 期刊名称：真空科学与技术学报， 22（6）， 435－440（2006）
  • 时间：0
  • 相关项目：新型无束腰纳米光刻投射电子束曝光电子光学系统的研究
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