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Probe diagnostics and numerical simulations of a low pressure argon slender plasma excited by a low
  • 期刊名称:Plasma Sources Sci. Technol.
  • 时间:0
  • 页码:045006-1-045006-8
  • 语言:英文
  • 相关项目:低气压多频等离子体与材料表面相互作用
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