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Real-time surface profile measurement using a feedback type of sinusoidal phase modulating interfero
  • 期刊名称：Optik - International Journal for Light and Electr
  • 时间：0
  • 页码：553-557
  • 语言：中文
  • 相关项目：二维相位展开技术研究及其在纳米精度光学干涉面形测量中的应用
作者： He G., Liao C., Jiang h., Lu Y., Huang S.|
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