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A new sensitivity model with blank space for layout optimization
  • ISSN号：1674-4926
  • 期刊名称：《半导体学报：英文版》
  • 时间：0
  • 分类：U416.216[交通运输工程—道路与铁道工程] TU323.4[建筑科学—结构工程]
  • 作者机构：[1]School of Communication Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China, [2]School of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710071, China
  • 相关基金：Project supported in part by the National Natural Science Foundation of China （No. 61173088）, the Science ＆ Technology Program of Xi＇an, China （No. CX1248@）, and the 111 Project （No. B08038）.
作者： Junping Wang, Yao Wu, Shigang Liu, Runsen Xing
关键词： 布局优化, 灵敏度, 模型, 产量损失, 工艺尺寸, 局部缺陷, 网络优化, 优化过程, blank space, critical area, missing material defect, layout optimization
中文摘要：

Corresponding author. Email： 416508212@qq.com

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期刊信息
  • 《半导体学报：英文版》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国电子学会 中国科学院半导体研究所
  • 主编：李树深
  • 地址：北京912信箱
  • 邮编：100083
  • 邮箱：cjs@semi.ac.cn
  • 电话：010-82304277
  • 国际标准刊号：ISSN：1674-4926
  • 国内统一刊号：ISSN：11-5781/TN
  • 邮发代号:2-184
  • 获奖情况:
  • 90年获中科院优秀期刊二等奖,92年获国家科委、中共中央宣传部和国家新闻出版署...,97年国家科委、中共中央中宣传部和国家新出版署三等奖,中国期刊方阵“双效”期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:7754