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复杂形貌试样的扫描电镜成像衬度模拟
  • ISSN号：1000-6281
  • 期刊名称：《电子显微学报》
  • 时间：0
  • 分类：O77[理学—晶体学]
  • 作者机构：[1]中国科技大学物理系超级运算中心,安徽合肥230026
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（No.10574121,90406024,10025420）.
作者： 王昊彦[1], 李会民[1], 丁泽军[1]
关键词： 模拟计算, 形貌像, 试样, 扫描电镜, 衬度, 扫描电子显微学, CARLO方法, 背散射电子
中文摘要：

Monte Carlo方法可用于模拟计算扫描电子显微学中材料的表面形貌像衬度，通过模拟电子在试样内部和表面附近的散射和输运过程，从而得到二次电子和背散射电子的信号，它们既反映了试样的表面形貌特征，在一定程度上还表征了试样的内部成分和结构差异。

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期刊信息
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  • 邮箱：dzxwxb@blem.ac.cn
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  • 国际标准刊号：ISSN：1000-6281
  • 国内统一刊号：ISSN：11-2295/TN
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 曾获《中国科技论文统计源期刊（中国科技核心期刊）》,《中国科学引文数据库(核心库)》来源期刊,中国自然科学核心期刊（无线电电子学、电信技术类...
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,英国科学文摘数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:6569