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侧壁压阻式力传感器的研制与标定
  • 期刊名称：纳米技术与精密工程
  • 时间：0
  • 页码：201-205
  • 语言：中文
  • 相关项目：微系统装配与集成
作者： 李昕欣|孙立宁|陈涛|荣伟彬|王家畴|陈立国|
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微系统装配与集成
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