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Experimental and numerical study on the optimization of pulse-modulated radio-frequency discharges
  • ISSN号:0963-0252
  • 期刊名称:Plasma Sources Science and Technology
  • 时间:2013.6.6
  • 页码:0350081-0350082
  • 相关项目:大气压辉光放电激发态氧原子产生机制的研究
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