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氮离子注入硅表面的力学性能及微
  • 期刊名称：摩擦学学报, 26(4): 289-294, 2006.
  • 时间：0
  • 相关项目：离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
作者： 张德坤，葛世荣，王世博，王庆良
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