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Mo电极形貌对AlN薄膜择优取向生长的影响
  • 期刊名称:功能材料与器件学报
  • 时间:0
  • 页码:183-186
  • 语言:中文
  • 相关项目:改性KNN一维纳米结构的机电/声电转换特性研究
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