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Ion Energy Measurement In Vacuum Arc Deposition
  • 期刊名称：IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SC
  • 时间：0
  • 页码：1997，Vol.25,No.4
  • 语言：英文
  • 相关项目：真空电弧沉积非晶硅的理论与实验研究
作者： 杨磊，邹积岩，程仲元|
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