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Influence of O/Ar ratio on the properties of NiO thin film grown with the method of radio-frequency magnetron sputtering
  • ISSN号：1007-2780
  • 期刊名称：《液晶与显示》
  • 时间：0
  • 分类：TN304[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]School of Science, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China, [2]International Business College, College of Humanities and Sciences of Normal University, Changchun 130017, China
  • 相关基金：Supported by the National Natural Science Foundation of China（11004016）
作者： WANG Xin[1], TANG Hai-ying[1], LI Ye[1], QIN Xu-lei[1], DUANMU Qing-duo[1], YU Yang[2]
关键词： 半导体技术, 材料, 理论, 设计, 计算, nickel oxide thin film, radio-frequency magnetron sputtering, optical property
中文摘要：

Author for correspondence, lecturer E-mail： 18500510@ qq. corn

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期刊信息
  • 《液晶与显示》
  • 北大核心期刊（2011版）
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国光学光电子行业协会液晶分会 中国物理学会液晶分会
  • 主编：郭海成
  • 地址：长春市东南湖大路3888号
  • 邮编：130033
  • 邮箱：yjxs@ciomp.ac.cn
  • 电话：0431-86176059
  • 国际标准刊号：ISSN：1007-2780
  • 国内统一刊号：ISSN：22-1259/O4
  • 邮发代号:12-203
  • 获奖情况:
  • 中国科学论文统计源期刊,中国科学引文数据库来源期刊
  • 国内外数据库收录:
  • 俄罗斯文摘杂志,美国化学文摘（网络版）,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）
  • 被引量:5470