新型静电驱动双向平动MEMS变形镜(英文)
- ISSN号:1672-6030
- 期刊名称:纳米技术与精密工程
- 时间:0
- 页码:313-317
- 相关项目:自适应光学系统中MEMS变形镜的空间和时间特性研究
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期刊信息
- 《纳米技术与精密工程》
- 北大核心期刊(2014版)
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- 主编:胡小唐
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