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Analysis of Dynamic Pressure Distribution on the Mold in Compressional Gas Cushion Press Nanoimprint
期刊名称:IEEE Transaction on Nanotechnology
时间:2013.7.3
页码:589-595
相关项目:基于假塑性金属纳米粒子流体的压缩式气压纳米压印研究
作者:
Liu Chaoran|Xia Weiwei|Li Dongxue|Duan Zhiyong|
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