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化学机械抛光中纳米级薄膜流动
  • 期刊名称：中国机械工程，2005,16(14)
  • 时间：0
  • 相关项目：先进电子制造中的重要科学技术问题研究
作者： 张朝辉，雒建斌，雷红
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期刊论文 339 会议论文 107 著作 6
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