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Deformationandremovalcharacteristicsinnanoscratchingof 6H-SiCwithBerkovichindenter
  • 期刊名称：MaterialsScienceinSemiconductorProcessing
  • 时间：2015
  • 页码：160-165
  • 相关项目：基于磨粒动态冲击效应的光学玻璃磨削亚表面裂纹生成机理研究
作者： 孟彬彬|张飞虎|李志鹏|
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